過濾在化學(xué)機(jī)械拋光液（CMP slurry）的制取和使用過程中是*的。使用傳統(tǒng)的動(dòng)態(tài)光散射粒度儀不可能檢測(cè)和定量分析過濾效果的好壞適應性，即不能檢測(cè)出導(dǎo)致研磨過程中劃傷晶片的研磨液中大顆粒是否被濾除重要平臺。有時(shí)過濾器的實(shí)際使用壽命會(huì)由于某種因素的影響比預(yù)期的使用壽命要縮短新的力量，而過濾器的失效會(huì)導(dǎo)致研磨液中的大顆粒劃傷晶片雙向互動。如果沒有一種方法檢測(cè)/監(jiān)測(cè)研磨液過濾前后的尾部大顆粒全方位，生產(chǎn)廠家就只能通過頻繁更換過濾器的方法來(lái)產(chǎn)品質(zhì)量的*數字化，這樣做既浪費(fèi)人力又浪費(fèi)物力不可缺少。 

關(guān)鍵詞： Nicomp380   SPOS  過濾效率  Slurry 

二、客戶現(xiàn)存問題:

     某過濾器材公司研發(fā)部一直想提升濾芯的過濾效率和判斷何時(shí)更換過濾器總之。但是苦于該公司的激光粒度儀在2μm處測(cè)試效果不好，到處尋找適合測(cè)試的儀器紮實做。

三足了準備、解決方案：

   PSS提供粒度分析儀NICOMP 380 和顆粒計(jì)數(shù)器AccuSizer FXnao來(lái)對(duì)過濾前后進(jìn)行分析比較。

    該公司為了測(cè)試PSS儀器的性支撐作用，他們將200nm標(biāo)粒和500nm標(biāo)练€步前行；旌线M(jìn)行測(cè)試。

    采用NICOMP 380 測(cè)試粒徑分布著力提升。NICOMP多峰分布顯示有下面兩個(gè)峰值指導，如圖一 

圖一

采用FXnano繼續(xù)對(duì)該樣品進(jìn)行顆粒計(jì)數(shù)測(cè)試分析。如圖二

圖二

FXNano給出的數(shù)據(jù)庫(kù) Channel date：

   該數(shù)據(jù)庫(kù)很好的顯示了PSS儀器強(qiáng)大的計(jì)數(shù)功能和分辨率動手能力。判定在0.2μm和0.5μm處有呈現(xiàn)粒子服務品質，很直觀的給出了顆粒的分布和數(shù)量信息。

為了判別濾芯的過濾效率充分。測(cè)試slurry過濾前后的樣品過程，疊加，如圖三

圖三Slurry過濾前后對(duì)比 融合，過濾前（紅色）進一步完善，過濾后（藍(lán)色）

四相結合、結(jié)果：

    該公司對(duì)測(cè)試結(jié)果非常滿意， AccuSizer 系列能夠很容易地檢測(cè)和定量分析那些嚴(yán)重危害制品質(zhì)量的尾部大顆粒影響，從而可以測(cè)定過濾器的效率以及大顆粒的濾除率相關性。使用AccuSizer檢測(cè)/監(jiān)測(cè)過濾效果能夠延長(zhǎng)過濾器的實(shí)際使用壽命，從而節(jié)約生產(chǎn)成本技術先進，購(gòu)買儀器的投資幾個(gè)月即可收回示範。

五、結(jié)論：

     NICOMP 380帶有的多峰分布提高，采用去卷積算法給出了多組分樣品的粒度分析。雖然激光衍射儀器有著寬廣的測(cè)試范圍和快速測(cè)試的優(yōu)勢(shì)，但是其本身原理太依賴于光學(xué)部件善謀新篇，在2μm處的衍射環(huán)辨析率不高推進高水平。SPOS單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)不僅給出了顆粒粒徑的分布情況，還對(duì)粒子數(shù)目有著真實(shí)的檢測(cè)計(jì)數(shù)供給。用來(lái)檢測(cè)過濾效率不斷發展，既，又一目了然拓展應用。