AccuSizer® A7000 SIS-2 注射型(原液)液體顆粒計數(shù)器

型號AccuSizer®A7000 SIS        

檢測范圍0.5 - 400μm        

計數(shù)濃度10000個/ml        

AAcuSizer® A7000 SIS注射型(原液)液體顆粒計數(shù)器具有高靈敏度完善好，高分辨率充分發揮，高達1024數(shù)據(jù)通道的特點產品和服務。在檢測液體中的顆粒數(shù)量的同時精確測量顆粒的粒度及粒度分布像一棵樹，結(jié)合全新一代AccuSizer軟件的強大分析功能，通過真實精細的分布結(jié)果不斷創新，廣泛服務(wù)于光電材料（PI高效利用、光刻膠）、IVD去突破、凈水品質、墨水、過濾、精密加工等領(lǐng)域能運用。

AcuSizer A7000 SIS
注射型(原液)液體顆粒計數(shù)器

檢測范圍： 0.5μm - 400μm

樣品濃度： 10000個/mL

可根據(jù)樣品特性，選配不同的進樣系統(tǒng)參與水平。不僅可以檢測常規(guī)液體樣本講理論，升級后可檢測油品樣本。

應(yīng)用: 光電材料（PI智能設備、光刻膠）解決問題、IVD、凈水不要畏懼、墨水導向作用、過濾、精密加工等規定。

產(chǎn)品優(yōu)勢

           

           

           

①進樣器: 全自動進樣系統(tǒng)可持續，測樣過程安全、簡單銘記囑托、快捷配備不同型號的注射器事關全面，拆卸方便。

②主機: 1024通道計算實現(xiàn)儀器的高分辨率製造業、高靈敏度發展目標奮鬥。

③傳感器: 獨立安裝，方便拆卸狀態，既有利于維護維修規劃，也便于更換其他型號傳感器。

④Loop進樣環(huán)：A7000 APS配備了不同體積的進樣環(huán)，選用不同的進樣環(huán)應用前景，在保證精確進樣量的同時指導，可以滿足不同濃度樣品的檢測要求。

計數(shù)效率高
High counting efficiency

顆粒計數(shù)器的計數(shù)效率主要體現(xiàn)在兩個指標上: 單位時間內(nèi)可計數(shù)的總數(shù)和重復(fù)性(統(tǒng)計學意義)A7000系列顆粒計數(shù)器可以在短時間內(nèi)快速計數(shù)大量粒子兩個角度入手，其優(yōu)秀的硬件和軟件設(shè)計為數(shù)據(jù)的準確性提供了有利保障關註點。

A7000 SIS 測試3次數(shù)據(jù)結(jié)果匯總表
	測試得到的樣品濃度(單位：顆/mL)
第一次測試	16644666
第二次測試	16140229
第三次測試	16483163
RSD	1.28%

A7000 SIS 測試3次數(shù)據(jù)譜圖結(jié)果匯總

從測試結(jié)果數(shù)據(jù)看，使用A7000 SIS測試的亞微米標準粒子進入當下，其樣品濃度約為8210顆/mL建強保護，樣品濃度三次測試結(jié)果的RSD為0.70%。充分說明了A7000 SIS在測試高濃度樣本時結(jié)果真實有效首次。

CETAC自動進樣系統(tǒng)

搭載全自動進樣器流動性，可滿足多組樣品的檢測需求，大大節(jié)省操作時間和人工成本生產效率。

Multiple sample trays available

3×7 samples-30mm tube（50mL）
4×10 samples-20mm tube（20mL）
5×12 samples-16mm tube（14mL）
6×15 samples-13mm tube（7mL）

兼容水相有機相

可兼容水相有機相反應能力，適應(yīng)多樣化的樣品檢測。

檢測原理

單顆粒光學傳感技術(shù)
Single Particle Optical(SPOS)

傳統(tǒng)的粒度表征的方式是用激光衍射法來獲得粒度體積徑分布行業內卷。其優(yōu)點是檢測方便進行培訓，干法濕法都能測試，數(shù)據(jù)結(jié)果容易辨讀凝聚力量，如D10關鍵技術，D50，D90。但由于其理論的理想化假設(shè)有所提升，如米氏散射理論和夫瑯禾費衍射理論都將顆粒假定為非常標準的圓形且計算中采用的物理光學參數(shù)都非常精確，這就導(dǎo)致了在實際應(yīng)用中產(chǎn)生了一系列的問題參與能力，如不同廠家的儀器測試的結(jié)果不統(tǒng)一敢於挑戰；即使同樣的樣品，同樣的儀器在不同時期不同的人操作也會產(chǎn)生差異應用擴展；對不同大小的粒徑分辨率不足等過程中。

AccuSizer® 系列儀器使用單顆粒光學傳感技術(shù)（Single Particle Optical Sizing，SPOS）建立和完善，對大量粒子樣本進行粒徑測試并計數(shù)特征更加明顯，一次檢測一個顆粒，來構(gòu)建真正的粒度分布（PSD）啟用，不僅可以得到高分辨率傳統(tǒng)的體積分布結(jié)果，也可以得到量化的數(shù)量分布結(jié)果。其將樣品中顆粒的數(shù)量和大小進行了量化活動上，可以很輕松地將樣品中的個別大顆粒檢測出來達到，對尾端粒子的高分辨率和靈敏性為產(chǎn)品的均一穩(wěn)定性研究提供了強有力的幫助深入各系統。

粒子通過光感區(qū)域的時候阻礙了一部分入射光，引起到達檢測器的光強降低的可能性，此信號的衰減幅度理論上與粒子的橫截面成比例關(guān)系進一步推進。在光阻法儀器中，將光強信號轉(zhuǎn)換成電信號系列，具體表現(xiàn)為電壓值情況較常見，不同粒徑大小的粒子產(chǎn)生的電壓值不同。根據(jù)對應(yīng)關(guān)系標準，就可以建立標準粒子和粒徑大小的校準曲線。這是傳統(tǒng)的光阻法（也稱為光消減法環境，Light Extinction or Light obscuration）檢測粒徑的原理主要抓手。傳統(tǒng)光阻法的范圍下限一般到1.5µm。

單顆粒光學傳感技術(shù)(SPOS)原理圖

Entegris（PSS）的SPOS技術(shù)結(jié)合了光阻效應(yīng)和光散理論重要的角色，將顆粒計數(shù)的下限下探到0.5µm空間載體。這不僅迎合了更嚴苛的質(zhì)量要求，也助力于精密制造對環(huán)境雜質(zhì)的高標要求要落實好。多達512個數(shù)據(jù)通道使數(shù)據(jù)辨析清晰可見即將展開。

如下圖所示，所用樣品為經(jīng)過400目（37μm）篩的標準粒子相對簡便。理論上超過37微米的應(yīng)該沒有或者極少創新科技。紅色為激光衍射（Laser Diffraction）弗朗和費理論（Frannhofer）的測試結(jié)果，綠色為SPOS設(shè)備測試結(jié)果特性。

SPOS測試結(jié)果顯示在35μm以上沒有顆粒有很大提升空間，而LD顯示即使300μm也有顆粒存在。原因在于粒度檢測的整體理論（Ensemble method）是模擬計算的結(jié)果，此類理論揭示的是自然界中實際呈現(xiàn)的正態(tài)分布現(xiàn)象認為。

技術(shù)優(yōu)勢

0.01μm精度的超高分辨率
Ultra high resolution with 0.01μm accuracy

分辨率是指分辨相鄰顆粒大小的能力。Entegris（PSS）的SPOS技術(shù)可以提供多達1024個數(shù)據(jù)通道國際要求。得益于此紮實，在檢測量程范圍內(nèi)，可對粒徑大小進行更加精細的劃分新趨勢，可達到0.01μm精度的超高分辨率可能性更大。展現(xiàn)出更真實的顆粒分布情況，為研發(fā)和質(zhì)控提供更精確的數(shù)據(jù)保持競爭優勢，為研發(fā)保駕護航真正做到。
如右圖所示，為0.8μm方案、1μm追求卓越、2μm、5μm、10μm性能、20μm混合標粒所得到的結(jié)果。5個主峰清晰可見。

圖3-3 超高分辨率

多通道的優(yōu)勢
512 Channel

如下圖所示強化意識，這是0.8μm聽得進、2μm、5μm的混合標粒在8通道合理需求，16通道全技術方案，512通道下不同的圖譜∠冗M水平？梢钥吹街匾?，在8通道下只有一個峰，粒子的大小介于0.6μm-2.2μm之間共享。在16通道下高端化，可以看到2個峰，一個峰的粒子大小介于0.6μm-1.2μm之間姿勢，另外一個峰的粒子大小介于4.1μm-7.5μm之間充分發揮。切換到512通道，可以明顯看到3個主峰有望，分別是0.8μm智能設備、2μm和5μm。
在低通道的模式下滿意度，由于數(shù)據(jù)不夠精確奮戰不懈，容易導(dǎo)致誤判。通道數(shù)變多智慧與合力，能夠更準確反映出樣品的真實情況規定。

8通道

16通道

512通道

10PPT等級的超高靈敏度
10PPT level ultra-high sensitivity

靈敏度高達10PPT級別，緊緊抓住納米顆粒分布的“小尾巴"措施，哪怕只有痕量的顆粒通過傳感器示範推廣，也可以精準檢測出來。在實際的生產(chǎn)和研發(fā)中，往往是極少數(shù)的顆粒決定了整個體系的質(zhì)量和穩(wěn)定性大大縮短，如半導(dǎo) 體CMP制程所用研磨液(Slurny)、注射用乳劑中大乳粒(>5um開放要求，PFAT5)等高質量。高靈敏度的傳感器，才能確保檢測結(jié)果更接近真實結(jié)果緊密相關，助力于找到問題的真正根源和“罪魁禍首"大幅增加。

A7000系列單顆粒光學傳感技術(shù)(SPOS)檢測結(jié)果VS激光衍射儀(LD)檢測結(jié)果

左圖為使用SPOS技術(shù)測得的粒度分布圖譜平臺建設，右圖為使用激光衍射法(LD)技術(shù)測得的粒度分布圖譜。左圖為3.41微升的1微米PSL標粒分散于250毫升氧化硅中的PSD圖譜服務延伸，右上圖為177微升同樣的標粒分散于同體積氧化硅先進技術，右下圖為360微升同樣的標粒分散于4.3mL的氧化硅中。
由圖譜可以看出:盡管將濃度提高52倍(如右上圖所示)貢獻力量，LD不能將不同組分進行區(qū)分合作；將濃度提高約6000倍(如右下圖所示)，方能看出有尾端大粒子存在前景。這充分說明SPOS技術(shù)比LD的靈敏度顯著提升約6000倍。

Accusizer工作站

AccuSizer® 工作站具備儀器控制、數(shù)據(jù)采集進一步、數(shù)理統(tǒng)計分析深入、出具報告以及權(quán)限管理、用戶管理覆蓋範圍、數(shù)據(jù)安全性、審計追蹤和電子簽名等功能進行培訓。

權(quán)限管理 | Authority management

內(nèi)置22種子權(quán)限管理科普活動，靈活設(shè)置，便于更細致化管理關鍵技術，滿足CSV計算機系統(tǒng)驗證逐漸完善。

1.用戶管理
2.允許編輯測樣方法
3.數(shù)據(jù)庫管理
4.鏈接驅(qū)動
4.允許用戶用儀器測量樣品
5.對主機中固件更新（工程師權(quán)限）
6.密碼權(quán)限設(shè)置
7.可看、輸出有所提升、更改數(shù)據(jù)自動備份位置
8.更改重新計算測試數(shù)據(jù)
9.導(dǎo)入曲線
10.曲線校準（不對用戶開放）
11.增加減少報告模板
12.允許打印或?qū)С鰣蟾?br/>13.刪除測樣數(shù)據(jù)（僅軟件界面看不到了解情況，數(shù)據(jù)庫數(shù)據(jù)依然存在，并可還原）
14. 刪除測樣數(shù)據(jù)
15. 刪除報告
16. 刪除文件

數(shù)據(jù)備份 | Data backup

可與Lims系統(tǒng)連用并按照固定時間點或間隔時長法治力量，自動備份到路徑或上傳到其他服務(wù)器長期間，無需擔心數(shù)據(jù)丟失。

內(nèi)置標準和模板

全通道 VS 自定義通道

樣品測試界面

自定義報告

高度可定制化報告模版技術研究，更可以滿足不同行業(yè)的不同需求是目前主流，既可以滿足質(zhì)檢部門(QC)的需求，更可以為研發(fā)工程師提供強大的數(shù)據(jù)分析能力現場。