AccuSizer® A9000 FXnano聚焦光束納米顆粒計數器

型號AccuSizer® A9000 FXnnano        

檢測范圍0.15-200μm        

計數濃度10¹²個/ml        

   

AccuSizer A9000 FXnano-AD納米顆粒計數器具有高靈敏度提升，高分辨率，64個數據通道的特點新產品。其在A7000系列顆粒計數器的基礎上進行了核心技術升級發展成就。A7000系列可以檢測到0.5μm的顆粒，最高濃度上限為10000顆/ml，超過此濃度創新延展，液體中粒子就會有重合現象全面闡釋，造成檢測結果不準。A9000 FX系列開創(chuàng)新的解決問題的思路品率，使測量背景即使不太干凈，也可以得到精確的結果推進高水平，從而使得重合限不再是限制液體顆粒計數器的因素開展面對面，從而實現對高達百萬級高濃度的樣本的檢測。 相似于A7000的解決方案不斷發展，A9000 FXnano引入了光散的信號便利性，從而可以使檢測的下限擴展到0.15μm(150nm)。

AccuSizer A9000納米顆粒計數器在檢測液體中的納米級顆粒數量的同時精確測量顆粒的粒度及粒度分布非常重要，通過真實精細的分布結果實事求是，廣泛服務于CMP研磨液、納米氣泡行動力、過濾結構、墨水、新材料等領域落到實處。尤其在CMP Slurry（研磨液效果，拋光液）的大粒子（LPC）的控制中。

       

AcuSizer A9000 FXnano-AD
聚焦光束納米顆粒計數器

檢測范圍：0.15μm - 200μm

樣品濃度： 10¹²個/ml

采用光學聚焦技術營造一處，對納米級別的微粒進行顆粒計數服務水平，加載自動稀釋模塊，對濃度樣本進行檢測保供，在半導體研磨液(Slurry)中大量采用能力建設。

應用: 制程CMP研磨液支撐能力，納米氣泡，過濾等像一棵樹。

產品優(yōu)勢

       

           

           

           

①進樣器: 全自動進樣系統(tǒng)協同控製，測樣過程安全、簡單高效利用、快捷配備不同型號的注射器體驗區，拆卸方便。

②主機: 多數據通道計算實現儀器的高分辨率有所應、高靈敏度道路。

③傳感器: 獨立安裝，方便拆卸今年，既有利于維護維修空間廣闊，也便于更換其他型號傳感器。

④模塊化設計: 大大增強維修的便宜性和預留將來升級維護的空間真諦所在。

原生高濃度設計

A7000/A9000系列顆粒計數器專為高濃度樣本的檢測提供解決方案研學體驗。其設計理念特別適合高濃度樣本，搭配自動稀釋模塊更是可以檢測濃度高達10¹²#/mL的樣本提供深度撮合服務。

A7000/A9000 系列顆粒計數器(分別對應LE\FX\FXnano傳感器)測試數據結果匯總

   

A7000 APS結果圖(LE傳感器)
濃度高達：3.72E+007顆/mL        

A9000 FX結果圖(FX傳感器)
濃度高達：4.80E+008顆/mL        

A9000 FX nano結果圖(FX nano傳感器)
濃度高達：3.15E+008顆/mL        

計數效率高
High counting efficiency

顆粒計數器的計數效率主要體現在兩個指標上: 單位時間內可計數的總數和重復性(統(tǒng)計學意義)A7000系列顆粒計數器可以在短時間內快速計數大量粒子深刻內涵，其優(yōu)秀的硬件和軟件設計為數據的準確性提供了有利保障。

A9000 FXnano 測試3次數據結果匯總表
	測試得到的樣品濃度(單位：顆/mL)
第一次測試	3.15E+08
第二次測試	2.89E+08
第三次測試	2.85E+08
RSD	5.50%

A9000 FXnano 測試3次數據譜圖結果匯總            

從測試結果數據看最為突出，使用A9000 FXnano測試的亞微米標準粒子逐步改善，其樣品濃度約為3.0E+08顆/mL，樣品濃度三次測試結果的RSD為5.5%。充分說明了A9000FXnano在測試高濃度樣本時結果真實有效落實落細。

主要應用

AccuSizer A9000系列（FX和FXnano）是一臺全自動用于高濃度樣本的納米液體顆粒計數器，其適用的超高濃度樣本濃度可以達到1×10⁶個/ml組成部分。其主要用于如下領域：

       

CMP制程

       

墨水

       

乳劑

       

分散體

       

醫(yī)藥注射劑（蛋白注射液）

       

穩(wěn)定性分析

       

研磨液(拋光液)

       

多聚物

       

納米顆粒

檢測原理

聚焦光束納米計數技術
Focus Beam

傳統(tǒng)的液體顆粒計數器深入闡釋，尤其是低下限到瑞利散射（Rayleigh’s Law）區(qū)的非常小的粒子，如果要探測到相應的信號發展目標奮鬥，要解決的問題主要有兩個：
問題1：光信號不足自動化裝置；問題2：如何聚焦到如此窄的粒徑范圍。
要想解決這個問題規劃，理論上我們需要能量非常高的激光。但是在現實中更多的合作機會，往往很難達到理論上的要求應用前景。由此，Entegris(PSS)的科學家研發(fā)出了FX系列（A9000系列）傳感器可以使用。

       

聚焦光束計數技術(Focused Extinction)原理圖

       

聚焦光束納米技術(Focus Beam)原理圖

激光光束垂直透過流動樣品池兩個角度入手，當顆粒經過光感區(qū)域時會形成遮擋關註點，使得光信號強度衰減，光阻檢測器檢測到光強信號的變化進入當下。

聚焦的激光光束垂直透過流動樣品池系統，當粒子自由通過樣品池的光感區(qū)域時發(fā)生光散射，散射光將通過散射透鏡聚焦在光散射檢測器上積極影響，產生脈沖信號方法，檢測器將脈沖信號轉換成相對應的粒徑大小。

AccuSizer A9000FX系列液體顆粒計數器采用創(chuàng)新的基于光阻法的聚焦光束納米計數技術(Focus Beam)進一步提升，其在傳統(tǒng)LE光阻傳感器(Light Extinction)的單顆粒光學傳感技術(SPOS)的基礎上進行了改進和變革進行探討，解決了傳統(tǒng)光阻法傳感器對于液體濃度要求苛刻的限制，可檢測的原液濃度高提供有力支撐，配合稀釋管理，可以檢測更高濃度的樣本。

A9000系列數據展示（一）

上圖分別是在LG模式下測得的0.3μm越來越重要，0.34μm切實把製度，0.5μm，0.6μm的標粮母飫撔?；旌蠘颖竞蟮慕Y果再獲。從圖中可以看到，A9000 FXnano可以很輕松的將上述5中標粒區(qū)分開最深厚的底氣，而且能夠給出顆粒的濃度（數量/mL）敢於挑戰。

A9000系列數據展示（二）- 多通道

上圖中可以看清晰看到，A9000 FXnano系列將不同大小的粒子的數量清晰明了的呈現出來了應用擴展，而且通道劃分得越小越細過程中。

自動稀釋
Automatic dilution

傳統(tǒng)的單顆粒傳感技術在樣品濃度過高的情況下會出現“重合限" 問題。Entegris（PSS）專為高濃度樣本的檢測開發(fā)出自動稀釋建立和完善，該方法可將超高濃度樣品稀釋至目標濃度特征更加明顯，減少人工稀釋的試錯成本、時間成本和誤差啟用。計算機系統(tǒng)根據稀釋因子自動還原樣品的原始顆粒濃度，解決了高濃度樣品的檢測難題。時至今日活動上，Entegris（PSS）的單顆粒光學傳感技術（SPOS）達到，在醫(yī)藥、半導體大型、新材料等新興領域發(fā)揮了作用的可能性。

自動稀釋原理圖

技術優(yōu)勢

0.01μm精度的超高分辨率
Ultra high resolution with 0.01μm accuracy

分辨率是指分辨相鄰顆粒大小的能力。Entegris（PSS）的SPOS技術可以提供多達1024個數據通道不可缺少。得益于此服務品質，在檢測量程范圍內傳遞，可對粒徑大小進行更加精細的劃分，可達到0.01μm精度的超高分辨率過程。展現出更真實的顆粒分布情況的發生，為研發(fā)和質控提供更精確的數據，為研發(fā)保駕護航進一步完善。
如右圖所示相結合，為0.8μm、1μm表現明顯更佳、2μm更加廣闊、5μm、10μm技術先進、20μm混合標粒所得到的結果示範。5個主峰清晰可見。

       

圖3-3 超高分辨率

多通道的優(yōu)勢
512 Channel

如下圖所示提高，這是0.8μm發展基礎、2μm、5μm的混合標粒在8通道有很大提升空間，16通道要求，512通道下不同的圖譜≌J為？梢钥吹竭\行好，在8通道下只有一個峰，粒子的大小介于0.6μm-2.2μm之間紮實。在16通道下同期，可以看到2個峰，一個峰的粒子大小介于0.6μm-1.2μm之間可能性更大，另外一個峰的粒子大小介于4.1μm-7.5μm之間鍛造。切換到512通道，可以明顯看到3個主峰使命責任，分別是0.8μm共謀發展、2μm和5μm。
在低通道的模式下持續創新，由于數據不夠精確創造，容易導致誤判。通道數變多互動講，能夠更準確反映出樣品的真實情況統籌。

       

8通道

       

16通道

       

512通道

10PPT等級的超高靈敏度
10PPT level ultra-high sensitivity

靈敏度高達10PPT級別，緊緊抓住納米顆粒分布的“小尾巴"支撐能力，哪怕只有痕量的顆粒通過傳感器產品和服務，也可以精準檢測出來。在實際的生產和研發(fā)中協同控製，往往是極少數的顆粒決定了整個體系的質量和穩(wěn)定性不斷創新，如半導 體CMP制程所用研磨液(Slurny)、注射用乳劑中大乳粒(>5um體驗區，PFAT5)等去突破。高靈敏度的傳感器，才能確保檢測結果更接近真實結果提供了遵循，助力于找到問題的真正根源和“罪魁禍首"。

A7000系列單顆粒光學傳感技術(SPOS)檢測結果VS激光衍射儀(LD)檢測結果

左圖為使用SPOS技術測得的粒度分布圖譜，右圖為使用激光衍射法(LD)技術測得的粒度分布圖譜利用好。左圖為3.41微升的1微米PSL標粒分散于250毫升氧化硅中的PSD圖譜參與水平，右上圖為177微升同樣的標粒分散于同體積氧化硅，右下圖為360微升同樣的標粒分散于4.3mL的氧化硅中有望。
由圖譜可以看出:盡管將濃度提高52倍(如右上圖所示)智能設備，LD不能將不同組分進行區(qū)分；將濃度提高約6000倍(如右下圖所示)服務效率，方能看出有尾端大粒子存在不要畏懼。這充分說明SPOS技術比LD的靈敏度顯著提升約6000倍。

技術優(yōu)勢

0.01μm精度的超高分辨率
Ultra high resolution with 0.01μm accuracy

分辨率是指分辨相鄰顆粒大小的能力蓬勃發展。Entegris（PSS）的SPOS技術可以提供多達1024個數據通道作用。得益于此，在檢測量程范圍內問題，可對粒徑大小進行更加精細的劃分應用的選擇，可達到0.01μm精度的超高分辨率。展現出更真實的顆粒分布情況，為研發(fā)和質控提供更精確的數據大大縮短，為研發(fā)保駕護航。
如右圖所示開放要求，為0.8μm高質量、1μm、2μm關規定、5μm更多的合作機會、10μm、20μm混合標粒所得到的結果指導。5個主峰清晰可見可以使用。

       

圖3-3 超高分辨率

多通道的優(yōu)勢
512 Channel

如下圖所示，這是0.8μm、2μm廣泛認同、5μm的混合標粒在8通道進入當下，16通道，512通道下不同的圖譜服務好∈状?？梢钥吹剑?通道下只有一個峰效高化，粒子的大小介于0.6μm-2.2μm之間生產效率。在16通道下，可以看到2個峰部署安排，一個峰的粒子大小介于0.6μm-1.2μm之間競爭激烈，另外一個峰的粒子大小介于4.1μm-7.5μm之間。切換到512通道效果，可以明顯看到3個主峰學習，分別是0.8μm、2μm和5μm逐漸完善。
在低通道的模式下，由于數據不夠精確，容易導致誤判了解情況。通道數變多參與能力，能夠更準確反映出樣品的真實情況。

       

8通道

       

16通道

       

512通道

10PPT等級的超高靈敏度
10PPT level ultra-high sensitivity

靈敏度高達10PPT級別長期間，緊緊抓住納米顆粒分布的“小尾巴"新的力量，哪怕只有痕量的顆粒通過傳感器，也可以精準檢測出來是目前主流。在實際的生產和研發(fā)中分享，往往是極少數的顆粒決定了整個體系的質量和穩(wěn)定性，如半導 體CMP制程所用研磨液(Slurny)便利性、注射用乳劑中大乳粒(>5um啟用，PFAT5)等。高靈敏度的傳感器估算，才能確保檢測結果更接近真實結果活動上，助力于找到問題的真正根源和“罪魁禍首"。

A7000系列單顆粒光學傳感技術(SPOS)檢測結果VS激光衍射儀(LD)檢測結果

左圖為使用SPOS技術測得的粒度分布圖譜深入各系統，右圖為使用激光衍射法(LD)技術測得的粒度分布圖譜大型。左圖為3.41微升的1微米PSL標粒分散于250毫升氧化硅中的PSD圖譜，右上圖為177微升同樣的標粒分散于同體積氧化硅進一步推進，右下圖為360微升同樣的標粒分散于4.3mL的氧化硅中不可缺少。
由圖譜可以看出:盡管將濃度提高52倍(如右上圖所示)，LD不能將不同組分進行區(qū)分；將濃度提高約6000倍(如右下圖所示)服務為一體，方能看出有尾端大粒子存在方案。這充分說明SPOS技術比LD的靈敏度顯著提升約6000倍。